1 引言
渦旋的概念相當(dāng)久遠(yuǎn)，20世紀(jì)初世界上就已經(jīng)有了渦旋技術(shù)的專利。但由于當(dāng)時技術(shù)水平的限制，渦旋機(jī)構(gòu)制造不出來，渦旋的概念也就被淡忘了。1973年渦旋機(jī)構(gòu)被重新提起并制造出第一臺模型機(jī)構(gòu)，使這項(xiàng)技術(shù)實(shí)際應(yīng)用成為可能。渦旋機(jī)構(gòu)的可靠性高、運(yùn)行平穩(wěn)、噪音極低、節(jié)省能源等潛力和巨大優(yōu)勢馬上引起了冰箱行業(yè)的重視和迫切需求，大受行業(yè)領(lǐng)先者青睞，迅速被投入工業(yè)化應(yīng)用。Trance、Hitachi、Copland等著名公司的渦旋壓縮機(jī)技術(shù)與產(chǎn)品弓領(lǐng)了世界渦旋技術(shù)實(shí)用化的浪潮，帶動了如冰箱、空調(diào)等諸多行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品的更新?lián)Q代。
今天渦旋技術(shù)已經(jīng)由初期的應(yīng)用在壓縮機(jī)行業(yè)推廣到真空泵制造業(yè)，實(shí)現(xiàn)了全無油、運(yùn)行更平穩(wěn)、噪音更低、更加節(jié)省能源的渦旋清潔真空獲得技術(shù)的實(shí)用化。人們應(yīng)用渦旋概念與原理制造出了對真空應(yīng)用儀器設(shè)備和環(huán)境沒有污染，并且抽速、壽命、能耗等指標(biāo)均優(yōu)于普通油泵的單級、雙級渦旋無油真空泵系列產(chǎn)品。
上個世紀(jì) 90 年代初，世界上首臺渦旋真空泵推向市場，渦旋技術(shù)由此開始作為一種新型真空獲得技術(shù)在世界范圍內(nèi)被推廣應(yīng)用 。 到目前為止，世界上渦旋真空泵的生產(chǎn)廠家集中在美 國、日本和歐洲，以日本的 Anest 1wata 、美國的 Varian 、 德國的 Bush 等為代表。產(chǎn)品包括了自0．25L／S-1OL／S系列產(chǎn)品，有些15L／S或更大抽氣量的產(chǎn)品也在試驗(yàn)階段。
2 渦旋無油真空泵 (0-I free scroll vacuum pump) 的特點(diǎn)與應(yīng)用領(lǐng)域
清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求 的理想真空環(huán)境。自能夠創(chuàng)造真空環(huán) 境開始，人們就試圖采用不同手段達(dá)到清潔真空的效果。時至今日，清潔真空 獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品 。在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中，渦旋無油真空泵與其他種類的無油真空泵相比具 有運(yùn)行平穩(wěn)、噪音低、節(jié)省能源、重量輕、體積小的特點(diǎn)并已經(jīng)被廣泛應(yīng)用到 下述科學(xué)研究與生產(chǎn)領(lǐng)域：①半導(dǎo)體行業(yè) —— 薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備 ； ②真空冶金行業(yè) —— 真空爐 、 納米材料制備設(shè)備 、 真空檢測設(shè)備 ；③科學(xué) 儀器行業(yè) —— 同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；④醫(yī)療設(shè)備 —— 牙科儀器、透析機(jī)；⑤生物制品行業(yè) —— 材料提純、藥品制備；⑥包裝行業(yè) —— 食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。
3 渦旋無油真空泵工作原理、技術(shù)指標(biāo)以及與普通油泵的對比
渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構(gòu)成了渦旋無油真空的基本抽氣機(jī)構(gòu)。例如在雙級渦旋無油真空泵中，有兩個方向?qū)?yīng)的固定渦旋盤，一個位于兩個渦旋盤之間的轉(zhuǎn)動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運(yùn)動形成容積不斷變化的新月形 真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。
眾所周知，渦旋無油真空泵 (Oil free scrolI vacuum pump) 與普通油真空泵相比具有顯著的特點(diǎn)。下面以普通旋片真空泵為例，說明其差別：
渦旋無油真空泵與普通直聯(lián)式旋片真空泵技術(shù)指標(biāo)的對比
技術(shù)指標(biāo) 旋片式油真空泵 渦旋無油真空泵
抽速（l/s） 2.0，4.0 |
