岡本工作機械制作所2007年12月7日公布了加工范圍“達到全球最大級別”的大型超精密高剛性龍門式平面研削機床“UDG10035NC”。主要用于加工用于半導(dǎo)體與液晶裝置的大型高精度平面工件,加工范圍為長10m×寬3.5m(通過寬度為4m)。研削機床將安裝在該公司位于群馬縣安中市的安中工廠,計劃12月投入運行。
近年來,平板顯示器(FPD)的尺寸日趨大型化。同時,光掩模以及XY工作臺等FPD制造需要的裝置也日益大型化。對可以高精度加工大尺寸部件的機床的需求日益擴大。新設(shè)備就是用來制造滿足上述要求機床的“母機床”。
加工大型研削機床的部件時,原來使用的是加工范圍為10m×2m的研削機床。新設(shè)備可以加工更大尺寸的部件,“加工時間比原來減少大約一半”(岡本工作機械制作所)。
新設(shè)備包括工作臺和橫梁(Cross rail)兩部分。其中,工作臺左右移動用來固定工件。橫梁上設(shè)置有保持兩種砂輪主軸的單元,并可前后移動。新設(shè)備的特點是除了工作臺,一般認為比較困難的橫梁方向也提高了真直度的精度。前后左右方向上的精度均為0.5μm/m。
在可像工作臺導(dǎo)軌面那樣可動部分和靜止部分相互接觸的面上采用了該公司擅長的“可變靜壓滑動系統(tǒng)”。靜壓方式是指向?qū)к壝娴目障豆┙o高壓流體,使兩個面之間保持非接觸狀態(tài),維持導(dǎo)軌面的剛性。可變靜壓方式則進一步根據(jù)導(dǎo)軌面的負荷控制流體的流量。這樣,在防止工作臺傾斜的同時,還可以減小導(dǎo)軌面的磨損。使用可變靜壓方式時,導(dǎo)軌面的剛性是采用靜壓方式的大約4倍。