馬頌德：支持制造業(yè)研發(fā)提高創(chuàng)新能力
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《若干意見(jiàn)》是黨中央、國(guó)務(wù)院審視國(guó)際形勢(shì)，根據(jù)我國(guó)未來(lái)國(guó)民經(jīng)濟(jì)、國(guó)防建設(shè)發(fā)展的需求，對(duì)裝備制造業(yè)給予高度重視的體現(xiàn)�？萍疾空J(rèn)真落實(shí)《若干意見(jiàn)》，在"十五"科技項(xiàng)目中加大對(duì)制造業(yè)裝備的研究開(kāi)發(fā)支持,積極組織產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合攻關(guān)，并在國(guó)務(wù)院領(lǐng)導(dǎo)下編制《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要》中，進(jìn)一步突出裝備制造業(yè)的自主創(chuàng)新。一些對(duì)我國(guó)未來(lái)國(guó)民經(jīng)濟(jì)、國(guó)防建設(shè)發(fā)展具有基礎(chǔ)性、戰(zhàn)略性的重大裝備的研究開(kāi)發(fā)被列入《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要》的優(yōu)先發(fā)展主題和國(guó)家重大專項(xiàng)。
“十五”期間，通過(guò)863計(jì)劃、科技攻關(guān)計(jì)劃支持了一批國(guó)家重點(diǎn)行業(yè)急需的制造業(yè)裝備的開(kāi)發(fā)，提高了部分行業(yè)制造裝備的自主創(chuàng)新能力。
集成電路裝備獲得突破
科技部、北京市和中電集團(tuán)等有關(guān)企業(yè)共同投入研發(fā)資金，研制出適合8英寸硅片100nm工藝微電子芯片制造關(guān)鍵設(shè)備、高密度等離子體刻蝕機(jī)和大傾角注入機(jī)試生產(chǎn)樣機(jī)。該樣機(jī)在去年已進(jìn)入生產(chǎn)線進(jìn)行生產(chǎn)考核，實(shí)現(xiàn)了我國(guó)高端集成電路核心設(shè)備零的突破。樣機(jī)的進(jìn)一步產(chǎn)業(yè)化將使未來(lái)2～3年我國(guó)IC制造業(yè)從180/130nm向90nm升級(jí)時(shí)，有可能使用上國(guó)產(chǎn)裝備。
100nm分辨率148nmArF準(zhǔn)分子激光步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)，是科技部、上海市與上電集團(tuán)共同投資進(jìn)行研發(fā)的高難度重大項(xiàng)目。該項(xiàng)目在大規(guī)模產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合攻關(guān)中，一些難度極高的部件采取國(guó)際合作方式，目前正處于分系統(tǒng)驗(yàn)收、內(nèi)外配套件集成并總裝的階段，有望在今年底完成。
高檔數(shù)控系統(tǒng)取得進(jìn)展
經(jīng)過(guò)“十五”前各類科研項(xiàng)目的支持，我國(guó)中檔以下數(shù)控系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化率已超過(guò)50%，“十五”期間科技項(xiàng)目支持的重點(diǎn)是高檔數(shù)控系統(tǒng)的研發(fā)。
第一，我國(guó)研制并生產(chǎn)了十多臺(tái)為東方汽輪機(jī)廠開(kāi)發(fā)的加工60萬(wàn)千瓦汽輪機(jī)、40英寸大型葉片用五軸聯(lián)動(dòng)大型葉片加工中心，加工精度與加工效率可與進(jìn)口瑞士同類機(jī)床相當(dāng)。
第二，研制成功大型艦船螺旋槳用重型七軸五聯(lián)動(dòng)車銑復(fù)合加工機(jī)床�？蓪�(shí)現(xiàn)螺旋槳的一次裝夾多表面的加工。該項(xiàng)目研發(fā)的技術(shù)，還可為發(fā)電裝備的大型葉片、轉(zhuǎn)輪等五軸加工提供共性加工技術(shù)。
第三，面向飛機(jī)大型板類件加工的橫梁移動(dòng)式龍門五軸加工中心廣泛適用于大型模具的生產(chǎn)，尤其適用于航空航天工業(yè)設(shè)備中的有色金屬、輕合金材料及難加工材料如鈦合金、鉻鎳合金的機(jī)械加工，是復(fù)雜空間曲面零件(如蝸輪、葉片、螺旋槳以及飛行器)加工必須的重要裝備，目前國(guó)內(nèi)此類設(shè)備完全依賴進(jìn)口�！笆濉逼陂g，我國(guó)自主研制的橫梁移動(dòng)式龍門五軸加工中心問(wèn)世，并獲得了第十屆中國(guó)國(guó)際裝備制造業(yè)博覽會(huì)金獎(jiǎng)。
第四，光學(xué)非球曲面超精密磨削技術(shù)及設(shè)備研究項(xiàng)目研制成超精密銑磨納米加工設(shè)備。超精密銑磨加工技術(shù)由于涉及尖端武器的制造，發(fā)達(dá)國(guó)家一直對(duì)這項(xiàng)技術(shù)及相應(yīng)產(chǎn)品采取禁運(yùn)限制，研制的設(shè)備為我國(guó)軍工及航空航天工業(yè)所需的光學(xué)玻璃非球曲面加工、微晶玻璃、鐵氧體等材料零件提供了加工設(shè)備。
部分能源裝備實(shí)現(xiàn)自主研發(fā)
“十五”期間，科技部安排了兆瓦級(jí)風(fēng)電機(jī)組研制，自行研制的1兆瓦級(jí)變槳距雙饋式變速恒頻和1.2兆瓦無(wú)齒輪箱直驅(qū)永磁兩種風(fēng)力發(fā)電機(jī)組于2005年實(shí)現(xiàn)并網(wǎng)發(fā)電。目前，1.2兆瓦風(fēng)電機(jī)組已在30萬(wàn)千瓦風(fēng)電場(chǎng)項(xiàng)目中中標(biāo)。這兩種大型變速恒頻風(fēng)電機(jī)組，為我國(guó)在2010年實(shí)現(xiàn)風(fēng)力發(fā)電裝機(jī)達(dá)500萬(wàn)千瓦提供主力機(jī)型。
另外，新型水煤漿氣化技術(shù)經(jīng)過(guò)國(guó)家科技計(jì)劃的連續(xù)支持取得突破�！笆濉逼陂g，對(duì)我國(guó)自主開(kāi)發(fā)的多噴嘴對(duì)置式水煤漿氣化技術(shù)進(jìn)行了改進(jìn)，并在兗礦集團(tuán)建成了1150噸/天新型水煤漿氣化爐工業(yè)示范裝置，實(shí)現(xiàn)一次投料成功。該項(xiàng)目打通了整個(gè)工藝流程，為煤的潔凈高效利用提供關(guān)鍵技術(shù)、核心技術(shù)。
工程機(jī)械技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力提高
在工程機(jī)械方面，我國(guó)掌握了液壓、刀盤、測(cè)控及系
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